[发明专利]图案形成方法和液滴喷出装置无效
| 申请号： | 200610141477.7 | 申请日： | 2006-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN1944066A | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | 岩田裕二;三浦弘纲 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41M1/26 | 分类号： | B41M1/26;B41J2/01;G02F1/133;H05B33/10;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在喷出头和基板之间设置反射镜。从激光头发射的激光在反射镜和喷出头之间多重反射后，向基板表面的照射位置引导。据此，激光对于反射镜的入射角变小，照射位置的激光的照射角也变小。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 方法 喷出 装置 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成方法，从设置在液滴喷出头上的喷出口对基板喷出 包含图案形成材料的液滴，从激光源对落到所述基板上的液滴照射激光， 形成图案，其特征在于： 从所述激光源对设置在所述基板的上方的第一反射部件发射激光，所 述激光由所述第一反射部件向设置在所述喷出口的附近的第二反射部件 反射，由第一反射部件所反射的激光由所述第二反射部件向所述基板上的 所述液滴反射。
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