[发明专利]压模、制造该压模的方法及利用该压模的基底的压印工艺无效
申请号: | 200610137180.3 | 申请日: | 2006-10-23 |
公开(公告)号: | CN101114120A | 公开(公告)日: | 2008-01-30 |
发明(设计)人: | 赵成训;赵映泰;李锡原;朴宣美;沈盈硕;朴正扜;金桢吉 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人: | 郭鸿禧;冯敏 |
地址: | 韩国京畿道水*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明公开了一种压模、用于制造该压模的方法以及利用该压模的基底的压印工艺。该压模能够抑制变形如收缩和膨胀,以提高具有刻在其上的精细图案的压模的尺寸准确度以及基底与压模的排列精确度。该压模包括:压模体,具有预定图案;加强部分,设置在压模体上,以加强压模体。 | ||
搜索关键词: | 压模 制造 方法 利用 基底 压印 工艺 | ||
【主权项】:
1.一种压模,包括:压模体,具有预定图案;加强部分,对所述压模体设置所述加强部分,以加强所述压模体。
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