[发明专利]喷墨印刷系统和制造薄膜晶体管阵列板的方法有效
申请号: | 200610136252.2 | 申请日: | 2006-10-19 |
公开(公告)号: | CN1982070A | 公开(公告)日: | 2007-06-20 |
发明(设计)人: | 李容旭;洪雯杓;吴俊鹤 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | B41J3/407 | 分类号: | B41J3/407;B41J2/01;H01L51/40;H01L21/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 根据本发明的示范性实施例的喷墨印刷系统包括:在基板上淀积墨水的喷墨印刷室;以及与所述喷墨印刷室间隔预定间距的干燥室,其通过调节淀积在所述基板上的墨水的溶剂的蒸汽压力来干燥所述墨水。单独设置干燥室,并调节所述干燥室内的溶剂的蒸汽压力,从而调节墨水的干燥速度,以改善有机半导体的结晶度。 | ||
搜索关键词: | 喷墨 印刷 系统 制造 薄膜晶体管 阵列 方法 | ||
【主权项】:
1.一种喷墨印刷系统,包括:在基板上淀积墨水的喷墨印刷室;以及与所述喷墨印刷室间隔预定间距的干燥室,其通过调节淀积在所述基板上的墨水的溶剂的蒸汽压力来干燥所述墨水。
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