[发明专利]基板检查装置

摘要

本发明提供一种基板检查装置(1)，在基座主体(3)上铺设有使基板(W)气动浮起的浮起工作台(4)。另外，在从基座主体(3)的一端部到另一端部之间依次设有自动宏观检查部(21)和微观检查部(22)。自动宏观检查部(21)构成为具有向基板(W)照射线状照明光的照明部(24)，在使照明光的反射光通过反射部(25)折返后入射到摄像部(26)。

主权项

1.一种基板检查装置，其特征在于，该基板检查装置具有：工作台，其搬运平板显示器用基板；搬运单元，其保持所述基板的一边并沿所述工作台的搬运方向搬运；线照明用光源，其配置在所述工作台的上游侧，射出在与所述搬运方向交叉的方向上延伸的线状照明光；宏观检查部，其具有拍摄被所述线状照明光照射的观察区域的摄像部；微观检查部，其沿所述工作台的搬运方向配置，具有沿与所述搬运方向正交的方向移动的物镜；缺陷坐标运算部，其计算由所述微观检查部检测的缺陷的坐标；控制部，其根据所述缺陷坐标运算部的各个缺陷的坐标数据，使所述基板移动到所述缺陷的X坐标与所述物镜的扫描线一致的位置上，在使所述基板停止的状态下，使所述微观检查部的所述物镜移动到与所述缺陷的Y坐标一致的位置上；以及精密浮起块，其配置在与所述物镜的扫描线对应的检查区域中，使所述基板高精度地浮起，在使所述基板浮起的状态下，利用所述微观检查部对所述基板进行微观检查。