[发明专利]微机电感测元件的塑料构装方法及其结构有效
| 申请号： | 200610128690.4 | 申请日： | 2006-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN101139079A | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | 陈荣泰;张文阳;邱以泰;朱俊勋 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00;B81C5/00;H01L21/56;H01L21/31 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 梁挥;徐金国 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微机电感测元件的塑料构装方法及其结构，其工艺包含：首先提供一载体，具有一表面。再提供至少一微机电感测元件，微机电感测元件具有一主动表面与一背面，且主动表面上具有一作用区域及多个焊垫。续而进行光阻工艺形成一牺牲层于作用区域上。再将该微机电感测元件粘结并电性连接于该载体表面上。接着形成至少一封胶体，其具有一表面使牺牲层的上表面暴露出来。最后以溶剂自然分解牺牲层，使微机电感测元件作用区域外露，以使作用区域与大气环境接触。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 电感 元件 塑料 方法 及其 结构 | ||
【主权项】：
1.一种微机电感测元件的塑料构装方法，其特征在于，包含：提供一载体，具有一表面；提供至少一微机电感测元件，该微机电感测元件具有一主动表面与一背面，且该主动表面上具有一作用区域及多个焊垫；进行光阻工艺形成一牺牲层于该微机电感测元件主动表面的该作用区域上；粘结该微机电感测元件于该载体表面，且该微机电感测元件的该焊垫与该载体形成电性连接；形成至少一封胶体，该封胶体具有一表面暴露出该牺牲层的上表面；以及以溶剂自然分解该牺牲层，使该微机电感测元件作用区域外露。
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