[发明专利]气体分解设备无效
| 申请号： | 200610128194.9 | 申请日： | 2006-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN1935325A | 公开（公告）日： | 2007-03-28 |
| 发明（设计）人： | 金子芳昭;西口敏司;岩间秀男;田村顺一 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B01D53/74 | 分类号： | B01D53/74;B01D53/72 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种气体分解设备，包括：至少一组高压电极和接地电极；用于在该高压电极和该接地电极之间施加电压以在它们之间引起等离子体放电的电源；电介质物质以及等离子体处理单元。电介质物质设置在高压电极和接地电极之间，并且可允许要分解的气体穿过。高压电极、接地电极和电介质物质设置在等离子体处理单元中。高压电极和接地电极中至少之一由弹性导电材料构成，并且能和电介质物质的表面轮廓匹配。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 分解 设备 | ||
【主权项】：
1.一种气体分解设备，包括：至少一组高压电极和接地电极；电源，用于在该高压电极和该接地电极之间施加电压以在它们之间引起等离子体放电；电介质物质，其放置在该高压电极和该接地电极之间，并且能允许要分解的气体从其通过；以及在其中设置该高压电极、该接地电极以及该电介质物质的等离子体处理单元，其中该高压电极和该接地电极中的至少一个由弹性导电材料构成并且能和该电介质物质的表面轮廓匹配。
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