[发明专利]使用液态金属MEMS技术的平面电感无效
| 申请号： | 200610127994.9 | 申请日： | 2006-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN1971776A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 蒂莫西·贝凌 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | H01F17/00 | 分类号： | H01F17/00;H01F41/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 李瑞海 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用MEMS器件设计和制造技术形成液态金属电感(100，200，300)。这种电感器件包括：衬底(150，160)；电感通道(105)，所述电感通道由所述器件衬底的一部分至少部分地限定，其中，所述电感通道还包括大致的螺旋形状和多个大致平行的通道部分中的至少一种；和液体导体(110)，其布置在所述电感通道中。根据常用的制造技术，可以将液态金属电感与一些MEMS微型开关更容易地集成。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 液态 金属 mems 技术 平面 电感 | ||
【主权项】：
1.一种设备，包括：器件衬底(150，160)；电感通道(105)，所述电感通道由所述器件衬底的一部分至少部分地限定，其中，所述电感通道还包括大致的螺旋形状和多个大致平行的通道部分中的至少一种；和液体导体(110)，其布置在所述电感通道中。
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