[发明专利]无热阵列波导光栅的应力补偿方法及其光栅有效
| 申请号: | 200610125587.4 | 申请日: | 2006-12-26 |
| 公开(公告)号: | CN101008693A | 公开(公告)日: | 2007-08-01 |
| 发明(设计)人: | 马卫东;丁丽;赵秀丽;凌九红;周天宏;胡佳艳;刘文 | 申请(专利权)人: | 武汉光迅科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G02B6/34 | 分类号: | G02B6/34 |
| 代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 | 代理人: | 朱必武 |
| 地址: | 430074湖北省武汉市洪*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | 一种无热阵列波导光栅的应力补偿方法,其特征在于:在AWG芯片上沿着阵列波导的方向,或者沿着部分阵列波导的方向,选择两个力点,在AWG芯片的平面内施加拉力或张力,对AWG的阵列波导处施加压应力或张应力。它加工和制作简单,成本低,阵列波导光栅可靠性和重复性好,有利于批量生产。 | ||
| 搜索关键词: | 阵列 波导 光栅 应力 补偿 方法 及其 | ||
【主权项】:
1.一种无热阵列波导光栅的应力补偿方法,其特征在于:在AWG芯片上沿着阵列波导的方向,或者沿着部分阵列波导的方向,选择两个力点,在AWG芯片的平面内施加拉力或张力,对AWG的阵列波导处施加压应力或张应力。
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