[发明专利]动压轴承及其制作方法无效
| 申请号： | 200610121868.2 | 申请日： | 2006-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN101131178A | 公开（公告）日： | 2008-02-27 |
| 发明（设计）人： | 李政璋;袁宗廷;张恒中;陈煌坤;邢泰刚 | 申请（专利权）人： | 台达电子工业股份有限公司 |
| 主分类号： | F16C17/10 | 分类号： | F16C17/10;F16C32/06;F16C33/14;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 魏晓刚;李晓舒 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种动压轴承，其制作方法是先将材料成型为所需要的轴承本体及其内孔；接着将该轴承本体的内孔壁表面布满光阻剂；准备一可穿过该内孔并具有能使该光阻剂曝光的灯管，其表面具有一含动压沟槽图案的光罩；将该灯管置入该内孔进行立体曝光；将该灯管移出，利用显影剂将该光阻剂感光部分清洗掉；在未受光阻剂保护的孔壁上形成沉积层；再利用去膜剂将余留在内孔壁的光阻剂去除，即形成动压沟槽的动压轴承。 | ||
| 搜索关键词： | 压轴 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种动压轴承制作方法，其步骤包括：提供一具内孔的轴承本体；在该轴承本体的该内孔壁表面布满一光阻剂；将一可使该光阻剂曝光的灯管放入该轴承本体的该内孔中，进行曝光，其中该灯管表面具有动压沟槽图案的光罩；对将该光阻剂进行显影，以去除部分光阻剂而露出该内孔壁；在未受该光阻剂保护的内孔壁上形成沉积层；以及将该内孔壁上的剩余光阻剂去除，而在该内孔壁上形成动压沟槽。
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