[发明专利]微镜设备及其阵列无效
申请号: | 200610121854.0 | 申请日: | 2006-08-25 |
公开(公告)号: | CN1920613A | 公开(公告)日: | 2007-02-28 |
发明(设计)人: | 池昌炫 | 申请(专利权)人: | LG电子株式会社 |
主分类号: | G02B26/10 | 分类号: | G02B26/10 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 钟强;夏凯 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 公开了一种微镜设备及其阵列,其中在远离镜板的位置形成外框架,由此减少镜板的动态变形,防止从镜板反射的光束的恶化,且使得能够维持镜板的平衡。使得支撑镜板的光圈的框架结构随着远离镜板的中心轴变细,由此很大程度地减少镜板的动态变形,且减轻设备的重量。 | ||
搜索关键词: | 设备 及其 阵列 | ||
【主权项】:
1.一种微镜设备,其包括:镜板,其包括以反射入射光束的反射面形成的光圈和设置在光圈下以支撑光圈的支撑框架;外框架,其在远离镜板的周界的位置形成;多个连接件,其连接镜板到外框架;和一对弹性柔性结构,其关于镜板对称地形成,且连接到外框架和用于从下面浮动镜板和外框架的一对支撑件。
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