[发明专利]高频放电激励气体激光振荡器无效
| 申请号： | 200610121838.1 | 申请日： | 2006-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN1921241A | 公开（公告）日： | 2007-02-28 |
| 发明（设计）人： | 江川明;安藤稔;池本肇 | 申请（专利权）人： | 发那科株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/00 | 分类号： | H01S3/00;H01S3/097 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许静 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种高频放电激励气体激光振荡器，其从脉冲指令控制的激光电源接受电功率供给，并具有电功率检测单元和脉冲指令控制单元，该电功率检测单元检测从激光电源对放电管的供给电功率，该脉冲指令控制单元位于激光电源的上流侧，比较根据放电管温度和供给电功率的关系求得的供给电功率的允许上限值与通过电功率检测单元检测到的实际的所述供给电功率，在供给电功率比允许上限值高时停止向放电管的脉冲指令值，根据允许上限值设定脉冲指令值。 | ||
| 搜索关键词： | 高频放电 激励 气体 激光 振荡器 | ||
【主权项】：
1.一种高频放电激励气体激光振荡器(1)，其从脉冲指令控制的激光电源(15)接受电功率供给，其特征在于，具有：电功率检测单元(18)，其检测从所述激光电源(15)向放电管(3a，3b)的供给电功率；和脉冲指令控制单元(19)，其位于所述激光电源(15)的上流侧，并比较根据放电管温度和供给电功率的关系求得的供给电功率的允许上限值与通过所述电功率检测单元(18)检测到的实际的所述供给电功率，在该供给电功率比所述允许上限值高时停止向所述放电管(3a，3b)的脉冲指令值，根据所述允许上限值设定脉冲指令值。
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