[发明专利]利用金属－有机化学气相沉积形成碳纤维的方法无效
| 申请号： | 200610121476.6 | 申请日： | 2006-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN1990909A | 公开（公告）日： | 2007-07-04 |
| 发明（设计）人： | 朴星昊;李明宰;具俊谟;徐范锡 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/365 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张平元;赵仁临 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种在低于450℃的低温下利用有机－金属蒸发法形成碳纤维的方法。该形成碳纤维的方法包括：在将基底装入反应室中之后，加热该基底并将基底保持在200～450℃的温度下；制备含Ni的有机金属化合物；通过蒸发该有机金属化合物，形成有机金属化合物蒸汽；及通过促进所述反应室中有机金属化合物蒸汽与含臭氧的反应气体之间的化学反应，在基底上形成碳纤维。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 金属 有机化学 沉积 形成 碳纤维 方法 | ||
【主权项】：
1.一种形成碳纤维的方法，包括：在将基底装入反应室中之后，加热该基底并将其保持在200～450℃的温度下；制备含Ni的有机金属化合物；通过蒸发该有机金属化合物，形成有机金属化合物蒸气；及通过促进所述反应室中有机金属化合物蒸气与含臭氧的反应气体之间的化学反应，在基底上形成碳纤维。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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