[发明专利]相变材料、制造和操作其的方法和相变随机存取存储器有效

专利信息
申请号: 200610121248.9 申请日: 2006-08-04
公开(公告)号: CN1909239A 公开(公告)日: 2007-02-07
发明(设计)人: 卢振瑞;姜闰浩;李相睦;徐东硕 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/24 分类号: H01L27/24;H01L21/82;H01L45/00
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 陶凤波
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明公开了一种相变材料、包括该相变材料的PRAM以及制造和操作这种PRAM的方法。绝缘杂质均匀分布在相变材料的整个或部分区域上。该PRAM包括含有相变材料的相变层。相变材料的绝缘杂质含量可小于相变材料体积的10%。相变材料绝缘杂质的含量可以通过控制施加到包括绝缘杂质的靶的电能调节。
搜索关键词: 相变 材料 制造 操作 方法 随机存取存储器
【主权项】:
1.一种相变随机存取存储器,包括:开关器件;连接到所述开关器件的下电极;形成在所述下电极上的下电极接触层;形成在所述下电极接触层上的相变层,所述相变层下表面的部分区域接触所述下电极接触层的上表面;和形成在所述相变层上的上电极,其中所述相变层包括均匀分布的绝缘杂质。
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