[发明专利]自由开放式线圈过滤器无效
| 申请号： | 200610117883.X | 申请日： | 2006-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN1944703A | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | 蔡珣;戴华;沈耀;胡亚威;陈秋龙 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;张宗明 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种自由开放式线圈过滤器，属于镀膜和材料表面改性技术领域。本发明包括：线圈、线圈固定以及绝缘装置、线圈支撑装置和工件罩，线圈使用紫铜软管绕制，线圈固定以及绝缘装置将线圈相邻匝固定住，线圈支撑装置从线圈的中部托住，保证线圈能稳定放置在真空炉内，工件罩位于线圈出口，线圈的相邻匝之间保持3mm到20mm的距离，线圈的供电使用直流电源或者脉冲电源，线圈相对于阳极具有+20V的电位，线圈使用直接水冷方式。本发明具有实施简单、使用灵活的优点，可广泛适用于电子、工具、装饰等表面精密制造和高质量镀膜领域。 | ||
| 搜索关键词： | 自由 开放式 线圈 过滤器 | ||
【主权项】：
1、一种自由开放式线圈过滤器，包括：线圈、线圈固定以及绝缘装置、线圈支撑装置和工件罩，其特征在于：线圈使用紫铜软管绕制，线圈固定以及绝缘装置将线圈相邻匝固定住，线圈支撑装置从线圈的中部托住，保证线圈能稳定放置在真空炉内，工件罩位于线圈出口，线圈的相邻匝之间保持3mm到20mm的距离，线圈的供电使用直流电源或者脉冲电源，线圈相对于阳极具有+20V的电位，线圈使用直接水冷方式。
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