[发明专利]一种硼磷硅玻璃膜回流方法有效
| 申请号： | 200610116167.X | 申请日： | 2006-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN101148326A | 公开（公告）日： | 2008-03-26 |
| 发明（设计）人： | 常建光;周永昌 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/02 | 分类号： | C03C17/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种硼磷硅玻璃膜(BPSG)回流方法，包括如下步骤：将沉积了硼磷硅玻璃膜的晶片装入炉管；通过干回流(Dry Reflow)软化硼磷硅玻璃膜；通过湿回流(Wet Reflow)填充硼磷硅玻璃膜中的空隙。本发明先采用干回流再采用湿回流工艺有效克服仅采用其中一种方法回流所产生的空洞或是非正常薄膜，并且可以有效缩短回流制程的时间，在较低的温度下实现硼磷硅玻璃膜回流。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硼磷硅 玻璃 回流 方法 | ||
【主权项】：
1.一种硼磷硅玻璃膜(BPSG)回流方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：将沉积了硼磷硅玻璃膜的晶片装入炉管；通过干回流(Dry Reflow)软化硼磷硅玻璃膜；通过湿回流(Wet Reflow)填充硼磷硅玻璃膜中的空隙。
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