[发明专利]搬运校准装置及应用该装置的晶片传输系统

摘要

本发明公开了一种搬运校准装置及应用该装置的晶片传输系统，包括末端受动器，末端受动器的后端与机械臂铰接，前端设有取物器，用于抓取物件；还包括驱动装置，可驱动末端受动器绕铰接点转动；还包括校准装置，用于对被抓取物件定位校准；取物器上设有取物槽，取物槽下部设有的定位面，用于对被抓取物件进行中心定位；机械臂上设有校准器，用于对被抓取物进行圆周角度定义。主要用在半导体晶片加工过程中的晶片传输系统中，传输并校准晶片，搬运可靠、校准精确，既可以应用于大气环境中，又可以应用于真空环境中。取消了晶片送往晶片校准器的传输过程，减少了传输路径时间，提高了生产传输效率，并简化了系统设备。

主权项

1.一种搬运校准装置，包括末端受动器，末端受动器的后端与机械臂连接，前端设有取物器，用于抓取物件，其特征在于，所述末端受动器的后端与机械臂铰接；所述的搬运校准装置上还设有驱动装置，可驱动末端受动器绕铰接点转动；所述的搬运校准装置上还设有校准装置，用于对被抓取物件定位校准。