[发明专利]微机械硅谐振式气体流速传感器无效
| 申请号： | 200610112937.3 | 申请日： | 2006-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN101144827A | 公开（公告）日： | 2008-03-19 |
| 发明（设计）人： | 陈德勇;陈健 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01P5/08 | 分类号： | G01P5/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明一种微机械硅谐振式气体流速传感器，涉及气体流速检测技术，是基于微电子机械技术(MEMS)加工而成，由Pyrex7740#玻璃基片，双端固支式音叉谐振子、低应力薄膜、微型杆杠结构、锚点、及电极引线组成。当气体流过时，低应力薄膜感应气体的流动而发生形变，微型杠杆结构将这种形变转化为应力做用在双端固支式音叉谐振子上，通过检测其固有频率的变化，实现对气体流速的测量。本发明采用独特的含有低应力薄膜、微型杠杆结构和双端固支式音叉谐振子的结构，制作简单，并有效提高气体流速检测的灵敏度，具有较好的抗干扰能力。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 谐振 气体 流速 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种微机械硅谐振式气体流速传感器，是基于微电子机械技术加工而成，由玻璃基片，双端固定式音叉谐振子、低应力薄膜、微型杠杆结构、锚点、及电极引线组成；其特征在于，当气体流过时，低应力薄膜感应气体的流动而发生形变，微型杠杆结构将这种形变转化为应力做用在双端固支式音叉谐振子上，通过检测固有频率的变化，实现对气体流速的测量。
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