[发明专利]沉积有机层的装置和控制该装置的加热单元的方法无效
| 申请号： | 200610112373.3 | 申请日： | 2006-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN1924082A | 公开（公告）日： | 2007-03-07 |
| 发明（设计）人： | 郑珉在;金度根;郑锡宪 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周艳玲;王琦 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于沉积有机层的装置和一种用于控制该装置的加热单元的方法。该装置包括设置于沉积室内、用于容纳蒸发材料的坩埚。该装置还包括加热单元，其具有用于加热该坩埚的第一和第二热源。壳体隔绝从加热单元发出的热量，外壁固定该坩埚。喷嘴喷射从该坩埚蒸发的材料。第一和第二热源分别置于该坩埚的第一侧和第二侧，并且被独立地控制，以使为稳定沉积速率所需的时间最少。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 有机 装置 控制 加热 单元 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于沉积有机层的装置，该装置包括：坩埚，适于容纳蒸发材料，加热单元，包括用于施加热量到该坩埚的第一和第二热源，其中第一热源置于该坩埚的第一侧附近，第二热源置于该坩埚的第二侧附近，壳体，用于隔绝从该加热单元发出的热量。
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