[发明专利]用于制造柔性显示器的膜盘有效
| 申请号： | 200610112369.7 | 申请日： | 2006-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN1925127A | 公开（公告）日： | 2007-03-07 |
| 发明（设计）人： | 李奎成;金度根;宋官燮;康熙哲 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L51/56;C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王琦;王诚华 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于制造柔性显示器的膜盘，该膜盘可以避免柔性基板或膜下沉。所述膜盘包括支撑板和至少一对夹钳，至少一对夹钳中的每个夹钳沿着支撑板的相对边缘设置以固定柔性介质。至少一对夹钳中的第一夹钳和至少一对夹钳中的第二夹钳对准。每个夹钳都包括适于打开以容纳柔性基板或膜并适于关闭以固定柔性基板或膜的开关部分，以及与该开关部分分开有预定距离以当开关部分关闭时将柔性基板或膜支持在预定高度的支撑部分。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 柔性 显示器 | ||
【主权项】：
1、一种用于在柔性显示器制造过程中支撑柔性介质的膜盘，包括：支撑板；和至少一对夹钳，所述至少一对夹钳中的每个夹钳位于所述支撑板的周边以固定柔性介质，所述至少一对夹钳中的第一夹钳和所述至少一对夹钳中的第二夹钳对准。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
