[发明专利]排放系统及其控制方法有效
| 申请号： | 200610112034.5 | 申请日： | 2006-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN101013324A | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | 苏昭安;姚人丰;范扬楷 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06;G05D16/20;G05D27/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种排放系统及其控制方法。该排放系统，包括至少一半导体制程设备、感应器、处理器及排放设备。该控制排放系统的方法，包括a.提供一下沉流体于一半导体制程设备中；b.感测一导管中一排放流体的至少一特性，且该排放流体包括来自下沉流体的流体；c.产生一讯号，当该排放流体的特性超出一预定值时；以及d.控制基于该讯号的该排放流体，以使该排放流体的该特性基本上落于该预定值内。本发明排放系统及其控制方法用以控制正在制程反应室中制造的晶圆条件。 | ||
| 搜索关键词： | 排放 系统 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
1、一种排放系统，其特征在于包括：至少一半导体制程设备，具一风扇以提供一下沉流体；一感应器，置于一导管之上或之内，其中该导管与半导体制程设备流动性耦接，以释放一制程中一排放流体，且该感应器可侦测流动于该导管中该排放流体的一特性；一处理器，耦接于该感应器；以及一排放设备，耦接于该处理器，其中该处理器以至少一预定值对照该排放流体的该特性，以控制该排放设备。
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