[发明专利]腐蚀方法和腐蚀成形品、压电振动器件及其制造方法有效
| 申请号： | 200610106885.9 | 申请日： | 2002-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN1933326A | 公开（公告）日： | 2007-03-21 |
| 发明（设计）人： | 佐藤俊介;中田穗积 | 申请（专利权）人： | 株式会社大真空 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H3/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈昕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在利用腐蚀度互为不同的多种掩模层R2、R3将石英晶片1各处形成掩蔽的状态，对该石英晶片1进行腐蚀处理。在利用腐蚀度高的掩模层形成掩蔽的部分，腐蚀工作早期开始，所以腐蚀量多。反之，在利用腐蚀度低的掩模层形成掩蔽的部分上，腐蚀工作的开始延迟，腐蚀量少。由此，可将石英晶片1形成任意的形状。 | ||
| 搜索关键词： | 腐蚀 方法 成形 压电 振动 器件 及其 制造 | ||
【主权项】：
1、一种压电振动器件，其特征是所述器件由压电材料构成，是由具有主振动部的中央部，和与该中央部的外缘存在规定间距并围绕中央部形成框形状的外框部，和将这些中央部和外框部进行部分连接的连接部一体形成而构成的，并且中央部是用台面型结构或反台面型结构构成。
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