[发明专利]薄膜磁头滑块的ABS加工方法

摘要

提供薄膜磁头滑块的ABS加工方法，能使抗蚀剂的密合性提高，精度良好地规定ABS凹凸形状。首先，在作为薄膜磁头滑块的与介质相对的面的面上，顺序地层叠形成第1硅膜、第1碳膜、第2硅膜、以及第2碳膜，在该第2碳膜上形成用于形成突起的抗蚀剂图形。接着，进行使用O₂/CF₄的反应性离子蚀刻，除去不被用于形成突起的抗蚀剂图形覆盖的第2碳膜以及第2硅膜，在除去部分露出的第1碳膜上形成第3碳膜。接着，除去用于形成突起的抗蚀剂图形，使由第2硅膜以及第2碳膜构成的突起露出。然后，在突起以及第3碳膜露出的表面上形成ABS抗蚀剂图形，加工从该ABS抗蚀剂图形中露出的表面，赋予ABS凹凸形状。

主权项

1.一种薄膜磁头滑块的ABS加工方法，在薄膜磁头滑块的与介质相对的面上，形成ABS凹凸形状和突起，具备以下工序：在上述与介质相对的面上，顺序地层叠形成第1硅膜、第1碳膜、第2硅膜、以及第2碳膜的工序；在上述第2碳膜上形成突起抗蚀剂图形的工序，上述突起抗蚀剂图形规定应形成突起的位置以及形状；将上述第1碳膜作为蚀刻阻止层进行使用O2以及CF4的反应性离子蚀刻，除去不被上述突起抗蚀剂图形覆盖的上述第2碳膜以及上述第2硅膜的工序；在上述第2碳膜以及上述第2硅膜的除去部分露出的第1碳膜上，形成覆盖该第1碳膜的第3碳膜的工序；除去上述突起抗蚀剂图形，使由上述第2硅膜以及上述第2碳膜构成的突起露出的工序；在上述突起以及上述第3碳膜露出的表面上形成ABS抗蚀剂图形的工序，上述ABS抗蚀剂图形规定应形成ABS凹凸形状的位置以及形状；加工从该ABS抗蚀剂图形中露出的表面，赋予ABS凹凸形状的工序。