[发明专利]用于气体传感器的双声路声表面波器件

摘要

本发明公开了一种用于气体传感器的双声路声表面波器件，包括两个全转移多条耦合器和两个输出换能器分别对称设置在输入换能器的左右两侧，全转移多条耦合器和输出换能器之间是区域，该区域的宽度，即全转移多条耦合器与输出换能器之间的距离为1微米到5厘米，全转移多条耦合器的长度等于输入换能器的最大声孔径与输出换能器的最大声孔径长度之和，并且全转移多条耦合器的上端与输入换能器的最大声孔径上端对齐，全转移多条耦合器的下端与输出换能器的最大声孔径下端对齐。本发明不仅可以用来消除晶体基片材料由于温度、湿度等条件的改变对测量中声表面波信号的影响，而且还可以抑制体声波信号对测量中声表面波信号的影响。

主权项

1、一种用于气体传感器的双声路声表面波器件，包括在同一基片材料(5)上制作一个输入换能器(1)、两个全转移多条耦合器(2)、两个输出换能器(4)，其特征在于，两个全转移多条耦合器(2)和两个输出换能器(4)分别对称设置在输入换能器(1)的左右两侧，全转移多条耦合器(2)和输出换能器(4)之间是区域(3)，全转移多条耦合器(2)与输出换能器(4)之间距离为1微米到5厘米。