[发明专利]夹紧装置、基板传送装置、和在线式FPD自动光学检测装置有效
| 申请号： | 200610103870.7 | 申请日： | 2006-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN1909203A | 公开（公告）日： | 2007-02-07 |
| 发明（设计）人： | 金玟锡;金相银;李英成;李恩璟;闵相植 | 申请（专利权）人： | 爱德牌工程有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/677;H01L21/66;B65G49/05;B65G47/91;G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王艳江;魏金霞 |
| 地址： | 韩国京畿道城南市*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板夹紧装置和基板传送装置，用于通过机械地固定基板的其中一侧并通过真空吸附而传送基板。该基板夹紧装置包括：上卡盘；下卡盘，其构造成在该上卡盘和下卡盘之间放入并夹住基板；和吸气嘴，其构造成在该上卡盘和下卡盘的彼此相对的相对面的至少一个上吸附并固定基板，从而防止由该基板夹紧装置固定的基板在基板传送过程中发生分离或在接触面上产生划痕。在基板夹紧装置夹紧的基板高速移动时，本发明防止该基板与该基板夹紧装置发生分离，从而确保基板传送的可靠性并提高产品的生产率。 | ||
| 搜索关键词： | 夹紧 装置 传送 在线 fpd 自动 光学 检测 | ||
【主权项】：
1.一种基板夹紧装置，其包括：上卡盘；和下卡盘，其构造成将基板放入在所述上卡盘和下卡盘之间并夹住所述基板，其中，构造成吸附并固定所述基板的吸气嘴形成于所述上卡盘和下卡盘的相对面中的至少一个上，这两个相对面彼此相对。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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