[发明专利]蒸汽干燥方法、其装置及其记录介质

摘要

一种蒸汽干燥装置备有：处理室(1a)，收容半导体晶片(W)；供给喷嘴(2)，对该处理室(1a)内供给IPA蒸汽或者N₂气体；两流体喷嘴(3)，生成IPA和N₂气体的混合流体；蒸汽产生装置(10)，加热混合流体，生成IPA蒸汽；N₂气体供给管(23)，连接于两流体喷嘴(3)的一次侧；以及混合流体供给管(22)，连接于两流体喷嘴的二次侧。在连接N₂气体供给管和混合流体供给管(22)的分支管(25)上，设置有开闭阀(V2)。首先，将N₂气体供给到两流体喷嘴(3)，且将IPA供给到两流体喷嘴(3)，而生成混合流体，并供给到处理室(1a)，进行第1干燥工序。接着，将N₂气体经由两流体喷嘴(3)以及分支管(25)供给到处理室(1a)，进行第2干燥工序。

主权项

1.一种蒸汽干燥方法，其特征在于，包括：混合工序，通过混合流体生成机构混合来自于惰性气体供给管的惰性气体和来自于溶剂供给管的溶剂，而生成混合流体；蒸汽生成工序，通过混合流体加热机构加热上述混合流体而生成蒸汽；第1干燥工序，将通过上述蒸汽生成工序而生成的蒸汽供给到处理室内，使被处理体干燥；加热工序，通过惰性气体加热机构加热惰性气体；第2干燥工序，将通过上述加热工序而被加热的惰性气体供给到上述处理室内，使被处理体干燥，分别设定在上述第1干燥工序和第2干燥工序中使用的惰性气体的供给量，并且相对于第1干燥工序来说，令第2干燥工序时的惰性气体的供给量增加。