[发明专利]用于传送基板的搬运器有效
| 申请号： | 200610100139.9 | 申请日： | 2006-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1923642A | 公开（公告）日： | 2007-03-07 |
| 发明（设计）人： | 金成垠;文亮植;郑钟范 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社;亚威科股有限公司;LG电子株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/00 | 分类号： | B65G49/00;B65G49/05;G02F1/133;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孙海龙 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种用于安全传送基板的具有多个支撑条的搬运器。所述搬运器包括：框架，具有：通孔；彼此相对的第一内表面和第二内表面；布置在所述通孔中并与所述第一和第二内表面连接的多个支撑条；形成在所述第一内表面和第二内表面中的槽，以及用于将基板移入工艺室并用于将基板从工艺室中取出的移动单元。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 传送 搬运 | ||
【主权项】：
1、一种用于传送基板的搬运器，包括：具有通孔的框架；布置在所述通孔中的多个支撑条；分别连接在各支撑条的至少一端的多个弹性单元；形成在框架的框体中的预定空间；在框架的内表面中形成的槽；以及形成在所述预定空间和所述槽之间的孔；所述弹性单元具有连接部件和弹性部件，所述连接部件通过所述孔连接到所述支撑条，所述弹性部件布置在所述预定空间或所述槽中。
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