[发明专利]载置台装置的安装结构、处理装置和馈电线间放电防止方法

摘要

本发明提供一种将中空状的脚部内维持在不发生放电的压力气氛，能防止馈电线之间放电的载置台装置。载置台装置安装结构为将载置台装置安装在可抽真空的处理容器内，该载置台装置具有：设置有加热机构的载置台；支撑它的中空状的脚部；和连接加热机构的馈电线等，该载置台装置安装结构具有：在形成在处理容器底部的开口部上、以密封该开口部的方式设置的底部安装台；设置在脚部的下端部与底部安装台之间、由软质金属材料构成的金属密封部件；将脚部下端部固定在底部安装台侧的固定机构；将惰性气体供给脚部内，使其为馈电线之间不发生放电的压力气氛的惰性气体供给机构；和用于对脚部内气氛一边限制其流量、一边使其排出的脚部内气氛排气机构。

主权项

1.一种载置台装置的安装结构，将载置台装置安装在可抽真空的处理容器内，所述载置台装置具有：设置有加热机构，在上面载置被处理体的载置台；从该载置台向下方延伸，内部呈中空状，同时下端开口的脚部；和容纳在该中空状的脚部内，上端连接在所述加热机构上的馈电线，其特征在于，具有：在形成在所述处理容器底部的开口部上，以密封该开口部的方式设置的底部安装台；设置在所述脚部的下端部与所述底部安装台之间、由软质金属材料构成的金属密封部件；将所述脚部的下端部固定在所述底部安装台侧的固定机构；将惰性气体供给所述脚部内，使其为所述馈电线之间不发生放电的压力气氛的惰性气体供给机构；和用于对所述脚部内的气氛一边限制其流量、一边使其排出的脚部内气氛排气机构。