[发明专利]药液涂敷装置及药液涂敷方法有效
| 申请号： | 200610091758.6 | 申请日： | 2006-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN1876243A | 公开（公告）日： | 2006-12-13 |
| 发明（设计）人： | 立石文则 | 申请（专利权）人： | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05C11/08;B05C11/10;B05D1/40 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 熊玉兰;邹雪梅 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明旨在提供一种通过可以均匀且没有偏差地涂敷药液的旋转涂敷法来进行涂敷的药液涂敷装置及药液涂敷方法。本发明的技术方案的要点是：配置有多个用于将药液涂敷在固定在基台上的涂敷对象物上的喷嘴。各喷嘴可以分别独立沿着上下左右方向移动。因此，可以控制喷出点，并且可以进行对应更广的粘度范围的药液的涂敷。通过实施本发明，可以获得在整个衬底上膜厚差异小且厚度均匀的涂敷膜，并且可以获得使用消除了被喷出的药液的浪费并提高了使用效率的药液喷出方法的药液涂敷装置。 | ||
| 搜索关键词： | 药液 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种药液涂敷装置，它包括：用于支撑衬底的基台；面对着在其上支撑所述衬底的所述基台而形成的用于喷出药液的多个喷嘴；用于移动各所述多个喷嘴的驱动机构；以及用于控制从所述多个喷嘴喷出的药液量的控制部。
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