[发明专利]清理部件和探针装置有效
| 申请号: | 200610084660.8 | 申请日: | 2006-05-26 |
| 公开(公告)号: | CN1989871A | 公开(公告)日: | 2007-07-04 |
| 发明(设计)人: | 河西俊洋;小泉慎也 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号: | A46B9/02 | 分类号: | A46B9/02;A46D1/00;H01L21/66;G01R1/067;G01R31/28 |
| 代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 龙淳 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明提供一种可以提高清理效率、并且可以防止检查时清理部件的纤维造成的探针之间短路的清理部件和探针装置。本发明的清理部件(10)具有底座(121)、由多根直立设置在底座(121)上的绝缘性塑料纤维(122)构成的刷子(123),在绝缘性塑料纤维(122)的外周面上,在绝缘性塑料纤维(122)的长度方向形成的凹部(122A)在圆周方向隔开规定间隔设置有3条,截面呈三叶形状。 | ||
| 搜索关键词: | 清理 部件 探针 装置 | ||
【主权项】:
1.一种清理部件,其特征在于,具有底座、由多根直立设置在该底座上的纤维构成的刷子,用所述刷子清理被检查体进行检查时使用的探针,其中,在所述纤维的外周面上,在上述纤维的长度方向形成的凹部,在圆周方向隔开规定的间隔设置有多条。
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