[发明专利]溅镀靶材无效
| 申请号： | 200610078102.0 | 申请日： | 2006-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN101063193A | 公开（公告）日： | 2007-10-31 |
| 发明（设计）人： | 朱冠宇;黄敬佩;陈逸书;林昆锋 | 申请（专利权）人： | 胜华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种溅镀靶材，包含有至少一第一溅镀面与至少一第二溅镀面，该第二溅镀面邻设于该第一溅镀面之侧，且第二溅镀面相对于第一溅镀面呈倾斜状；由此，利用调整与改变第一溅镀面与第二溅镀面的设置位置，以及第二溅镀面相对于第一溅镀面的倾斜角度，即可控制溅镀靶材沉积于一基板表面所形成薄膜的分布状态，使得原本膜厚较厚的区域补偿至膜厚较薄的区域，进而所形成的薄膜膜厚较为均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 溅镀靶材 | ||
【主权项】：
1.一种溅镀靶材，包含有至少一第一溅镀面与至少一第二溅镀面，该第二溅镀面邻设于该第一溅镀面，且该第二溅镀面相对于该第一溅镀面呈倾斜状。
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