[发明专利]激光加工装置无效
申请号: | 200610077413.5 | 申请日: | 2006-03-09 |
公开(公告)号: | CN1853841A | 公开(公告)日: | 2006-11-01 |
发明(设计)人: | 森数洋司;能丸圭司;根岸克治 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪斯科 |
主分类号: | B23K26/08 | 分类号: | B23K26/08;B23K26/42;B23Q17/00;B23Q5/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 陈英俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种激光加工装置,具有保持被加工物的卡盘台、照射激光光束的激光光束照射机构、使该卡盘台在加工进给方向上移动的加工进给机构、以及使激光光束照射机构在与该加工进给方向X相垂直的分度进给方向Y上相对移动的分度进给机构,具有:检测加工进给量的加工进给量检测机构;检测分度进给量的分度进给量检测机构;以及控制机构,具有存储被加工物上形成的细孔的X、Y坐标值的存储机构,根据存储在该存储机构中的细孔的X、Y坐标值、和来自该加工进给量检测机构及该分度进给量检测机构的信号,控制该激光光束照射机构。 | ||
搜索关键词: | 激光 加工 装置 | ||
【主权项】:
1.一种激光加工装置,具有保持被加工物的卡盘台、对被保持在该卡盘台上的被加工物照射激光光束的激光光束照射机构、使该卡盘台和该激光光束照射机构在加工进给方向X上相对移动的加工进给机构、以及使该卡盘台和该激光光束照射机构在与该加工进给方向X垂直的分度进给方向Y上相对移动的分度进给机构,其特征在于,具有:加工进给量检测机构,对该卡盘台和该激光光束照射机构的相对加工进给量进行检测;分度进给量检测机构,对该卡盘台和该激光光束照射机构的相对分度进给量进行检测;以及控制机构,具有存储被加工物上形成的细孔的X、Y坐标值的存储机构,根据该存储机构中存储的细孔的X、Y坐标值、和来自该加工进给量检测机构及该分度进给量检测机构的信号,控制该激光光束照射机构;根据来自该加工进给量检测机构及该分度进给量检测机构的信号,在该存储机构中存储的细孔的X、Y坐标值到达该激光光束照射机构的照射位置时,该控制机构向该激光光束照射机构输出照射信号。
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