[发明专利]接合器、以及使用其的半导体测试装置无效
| 申请号： | 200610075855.6 | 申请日： | 2006-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN1851476A | 公开（公告）日： | 2006-10-25 |
| 发明（设计）人： | 后藤明彦 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/06 | 分类号： | G01R1/06;H01R13/631;G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种接合器(100)，其设置于测试头(13)上，用于将探针卡(10)连接到该测试头(13)上，所述接合器(100)包括：接合器主体(1)；支撑在该接合器主体(1)上的同轴连接器(2)；以及偏置机构(3)，所述偏置机构(3)被支撑在接合器主体(1)上，在同轴连接器(2)与设置于探针卡(10)上的对方同轴连接器(15)相嵌入连接的状态下，将探针卡(10)向松开嵌入连接的方向偏置。 | ||
| 搜索关键词： | 接合 以及 使用 半导体 测试 装置 | ||
【主权项】：
1.一种接合器，其设置在测试头上，用于在该测试头上连接探针卡，所述接合器包括：接合器主体；同轴连接器，其被支撑在所述接合器主体上；偏置装置，其被支撑在所述接合器主体上，在所述同轴连接器与设置于所述探针卡上的对方同轴连接器相嵌入连接的状态下，将所述探针卡向松开所述嵌入连接的方向偏置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安捷伦科技有限公司，未经安捷伦科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610075855.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
