[发明专利]与外涂的光致抗蚀剂一起使用的涂料组合物有效
| 申请号： | 200610073949.X | 申请日： | 2006-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN1828420A | 公开（公告）日： | 2006-09-06 |
| 发明（设计）人： | A·赞皮尼;E·K·帕夫奇克;J·M·莫利 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在第一方面，提供有机涂料组合物，特别是旋压的减反射涂料组合物，该组合物含有具有不同树脂混合物的树脂组分，其中混合物中的至少一种树脂包含生色团，混合物中的至少另一种树脂至少基本不含或完全不含生色团。另一方面，提供体系，该体系包括使用对用于使外涂的光致抗蚀剂组合物层成像的辐射具有不同吸光度的多种下层有机减反射涂料组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 一起 使用 涂料 组合 | ||
【主权项】：
1.经过涂覆的基片，该基片包括：包含树脂混合物、树脂的减反射组合物层，其中所述混合物中的至少一种树脂包含生色团，所述混合物中的至少另一种树脂至少基本不含或完全不含生色团；位于所述减反射组合物层上面的光致抗蚀剂层。
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