[发明专利]固体摄像器件及其制造方法

摘要

本发明提供一种固体摄像器件，具有设置了光电转换部(11a)、垂直CCD(2)、垂直总线部(16)的半导体基板，垂直CCD(2)具有传送通道(2a)、第一垂直传送电极(6)、第二垂直传送电极(9)和遮光膜(13)，将第一传送电极(6)和第二传送电极(9)配置成，在没形成传送通道(2a)的区域上第二传送电极(9)位于第一传送电极(6)的上面，在形成有传送通道(2a)的区域上，第一传送电极(6)和第二传送电极(9)相邻接，形成有第二传送电极(9)的传送通道(2a)的区域上的部分在上述半导体基板的厚度方向不与第一传送电极(9)重合。

主权项

1、一种固体摄像器件，其特征在于，具有设置了传送信号电荷的电荷传送部和向电荷传送部供给传送脉冲的总线部的半导体基板；电荷传送部具有：形成在上述半导体基板上的传送通道；在上述传送通道上横切其而设置的多个第一传送电极和多个第二传送电极；覆盖上述传送通道形成在上述第一传送电极和上述第二传送电极的上面的遮光膜；上述总线部具有供给不同的传送脉冲的多个总线布线，上述多个总线布线分别与上述多个第一传送电极和上述多个第二传送电极中的某一个连接；将上述多个第一传送电极和上述多个第二传送电极配置成，至少在与形成上述总线布线的区域在上述半导体基板的厚度方向重合的区域中，上述第二传送电极位于上述第一传送电极的上面，在形成有述传送通道的区域上，上述第一传送电极和上述第二传送电极相邻；将上述第二传送电极形成为，形成了该上述传送通道的区域上的部分在上述半导体基板的厚度方向至少不与被施加不同传送脉冲的上述第一传送电极重合。