[发明专利]一种柔性复合透明导电膜及其制备方法无效
| 申请号： | 200610070509.9 | 申请日： | 2006-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN1979695A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 闫金良;赵银女;孙学卿;李清山 | 申请（专利权）人： | 鲁东大学 |
| 主分类号： | H01B5/14 | 分类号： | H01B5/14;B32B5/00;H01L31/0224;H05B33/28;C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 烟台信合专利代理有限公司 | 代理人： | 韩珺 |
| 地址： | 264025山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种柔性复合透明导电膜及其制备方法，该柔性复合透明导电膜在有机柔性基材上依次设有钝化层、金属氧化物层、金属导电层和金属氧化物层。其中：钝化层在氩气氛围中射频溅射钝化靶材制备，金属氧化物层在氩气氛围中射频溅射金属氧化物靶材制备，金属导电层在氩气氛围中直流溅射金属靶材制备。本发明的优点是基片不需要加热、制造工艺简单、成本低廉、无毒、不污染环境、光电性能和稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 复合 透明 导电 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种柔性复合透明导电膜，其特征在于其具有有机柔性基材，有机柔性基材上依次设有钝化层、金属氧化物层、金属导电层和金属氧化物层。
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