[发明专利]不匀检查装置以及不匀检查方法

摘要

一种不匀检查装置，具有：载物台，其保持基板；光射出部，其向基板形成了膜的上表面上射出线状光；受光部，其接受来自基板的反射光；波段切换机构，其被配置在基板和受光部之间来切换光的波段；移动机构，其使载物台移动；检查部，其基于所接受的光的强度分布来检查膜厚不匀。在不匀检查装置中，在由波段切换机构变更选择光学滤光片时，基于与预先存储在校正信息存储部中的选择波段(被选择的光学条件)对应的校正信息，校正由各光学滤光片的光学特性带来的影响和随着选择波段的变更而产生的线型传感器的CCD灵敏度的偏差的影响之后，进行膜厚不匀的检查，其结果是能够更高精度地检测出膜厚不匀。

主权项

1.一种不匀检查装置，检查在基板上形成的膜的膜厚不匀，其特征在于，具有：保持部，其保持在主面上形成有光透过性的膜的基板；光射出部，其向上述膜射出光；传感器，其由多个受光元件接受由上述膜反射了的、或者透过了上述膜之后的特定的波段的光，并输出来自上述主面的上述特定的波段的光的强度分布；光学条件切换装置，其在多个光学条件之间切换与上述特定的波段或者从上述光射出部至上述传感器的光学系统的状态对应的光学条件；校正信息存储部，其存储有相对于上述传感器的各受光元件而与上述多个光学条件分别建立了关联的多个校正信息；输出校正部，其从上述多个校正信息中选择与由上述光学条件切换装置选择的光学条件建立了关联的上述各受光元件的校正信息，并基于上述校正信息，校正来自上述传感器的输出。