[发明专利]确定表面特征的装置和方法

摘要

一种干涉仪系统将光沿样本路径定向到样本表面且沿参考路径定向到参考表面，以使由样本表面的区域反射的光和由参考表面反射的光相干涉。在沿在样本和参考表面之间的扫描路径相对移动的过程中，传感元件以一定间隔来感测由相应的表面区域产生的干涉条纹，以提供一组用于各个表面区域的强度数据。相干峰值位置确定器为一个表面区域来根据该组强度数据确定高度数据，所述高度数据表示在扫描路径上、与该表面区域的高度相对应的位置。振幅确定器确定振幅数据，所述振幅数据表示在所确定的高度位置处强度数据的振幅。修改的表面高度计算器通过用一校正因子来修改由相干峰值位置确定器所确定的所述高度数据，以计算用于表面区域的修改的高度数据，该校正因子是使用相应的振幅数据和由校正参数提供器提供的一校正参数来确定的。

主权项

1、用于确定复合材料样本表面的表面特征的装置，所述装置包括干涉仪系统，所述干涉仪系统具有：光导向器，其可操作来将光沿样本路径定向到样本表面且沿参考路径定向到参考表面，以使由样本表面反射的光和由参考表面反射的光相干涉；移动器，其可操作来在该样本和参考表面之间沿测量扫描路径实施相对运动；传感设备，其具有传感元件的阵列，各个传感元件可操作来感测表示干涉条纹的光，所述干涉条纹是通过样本表面的相应表面区域产生的；和控制器，其可操作来通过使所述移动器在所述传感设备以一定间隔感测光强度的同时实施相对移动，而执行测量操作，以向各个表面区域提供一组表示由所述表面区域产生的干涉条纹的强度数据；和所述装置还包括数据处理器，所述数据处理器提供：位置确定器，其可操作来从该组强度数据为一表面区域确定表面高度数据，所述表面高度数据表示在测量扫描路径上对应于该表面区域的高度的位置；振幅确定器，其可操作来为一表面区域确定振幅数据，所述振幅数据表示在由该位置确定器确定为表示所述表面区域的高度的位置处强度数据的振幅；校正参数提供器，其用于提供校正参数；和修改的表面高度计算器，其可操作来通过用校正因子修改由位置确定器确定的所述高度数据，而为一表面区域计算修改的高度数据，所述校正因子是使用相应的振幅数据和由所述校正参数提供器提供的校正参数而确定的。