[发明专利]外观检查装置无效
| 申请号： | 200610066698.2 | 申请日： | 2006-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN1854718A | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | 辻治之;菅义明;内木裕 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/896 | 分类号： | G01N21/896;G01N21/898;G01N21/956;G01N21/958 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 外观检查装置。本发明的外观检查装置具备：向晶片(13)照射照明光的广域照明部(2)、狭缝照明部(3)、点照明部(4)等照明部；摇动机构(12)，其可摇动移动地保持晶片(13)；以及控制单元(9)，其进行这些照明部以及摇动机构(12)的控制。该外观检查装置通过键盘(16)、鼠标(17)等输入检查条件设定值，将它们作为针对各检查工序种类汇总后得到的检查工序设定信息存储于存储部中，通过控制单元(9)中的设定信息选择部选择检查工序设定信息，进行检查。 | ||
| 搜索关键词： | 外观 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种外观检查装置，具备：摇动部，其可摇动移动地保持被检查体；照明部，其向所述被检查体照射照明光，以便用肉眼观察所述被摄体的图像；存储部，其存储用于进行检查工序的检查工序设定信息；以及控制部，其根据所述检查工序设定信息，至少进行所述照明部和所述摇动部的自动控制。
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