[发明专利]真空设备的闸阀装置

摘要

一种真空设备的闸阀装置，包含：一个架设在两个腔座间的基座、一个架设在基座上的驱动机构、一个受到驱动机构驱动而可在基座的控制室内直线升降的驱动座，以及一封闭机构，其中该基座包括两片间隔且分别具有一个阀口的阀壁。而该封闭机构包括：一封闭板、多个将封闭板以可摆动方式架设在驱动座上的枢摆单元，以及多个具弹力地架设在所述驱动座及封闭板间，并可将封闭板压向其中一片阀壁的回力单元，上述回力单元位于该枢摆单元的上方及下方。借由单点枢接以及回力单元的上下弹性抵接，可以使闸阀装置在制造较为容易。

主权项

1.一种真空设备的闸阀装置，架设在真空设备的两个腔座间，包含：一个基座、一个架设在基座上的驱动机构、一个驱动座，以及一个封闭机构，其中该基座包括：两片间隔且分别具有一阀口的阀壁，在所述阀壁间具有一个控制室，而该驱动座受到驱动机构驱动可在基座的控制室内直线升降，该封闭机构包括一片和驱动座平行的封闭板；其特征在于：该封闭机构还将至少一个封闭板以可摆动方式架设在驱动座上的枢摆单元，以及多个架设在所述驱动座及封闭板间并可将封闭板压向其中一片阀壁的回力单元，并且上述回力单元位于该枢摆单元的上方和下方位置。