[发明专利]光图像计测装置

摘要

本发明提供一种可与计测开始要求相对应，迅速地开始图像计测，并能够恰当地进行在计测区域决定时聚焦了的区域的图像计测的光图像计测装置。该装置在观察光M于观察用CCD照相机23上被聚焦时，使计测用CCD照相机21、22以在从观察物点P的位置向装置侧只离开距离d的位置上具有计测物点Q的形态而进行配置。与计测开始开关60的操作相对应，干涉光移动载台50变更光路长差，以使计测物点Q向观察物点P的位置的方向进行移动。距离d被设定为使静止的干涉仪移动载台50加速到一定速度所需的必要距离以上。藉此，能够与被测定物体O的图像计测的开始要求相对应，迅速地开始图像计测，而且能够进行在计测区域决定时聚焦了的区域，即观察物点的位置的图像计测。

主权项

1、一种光图像计测装置，其特征在于，包括：对被测定物体以观察光进行照明的照明光学系统、接受由前述被测定物体所形成的前述观察光的反射光而生成信号的观察用受光装置、使前述观察光的反射光在前述观察用受光装置上进行聚焦的观察光聚焦装置、根据利用前述观察用受光装置所生成的信号而将前述被测定物体的观察图像进行显示的显示装置、在参照前述观察图像开始图像计测时所操作的操作装置、对应前述操作装置的操作而射出计测光的计测光源、将前述射出的计测光分割为经由前述被测定物体的信号光和经由参照物体的参照光的分割装置、使前述信号光的频率和前述参照光的频率相对地进行位移的频率位移装置、变更前述信号光和前述参照光的光路长差并变更图像计测深度的光路长变更装置、使经由了前述被测定物体的前述信号光和经由了前述参照物体的前述参照光进行重叠而生成干涉光的重叠装置、接受前述生成的干涉光并生成信号的计测用受光装置、根据前述生成的信号而形成前述被测定物体的图像的图像形成装置；前述计测用受光装置以在前述观察光的反射光于前述观察用受光装置上被聚焦时，以在从其观察物点的位置向前述信号光的光路方向只离开设定距离的位置上具有计测物点的形态而进行配置，且前述光路长变更装置与前述操作装置的操作相对应地将前述光路长差进行变更，以使前述计测用受光装置的计测物点向前述观察物点的位置的方向只移动前述设定距离。