[发明专利]无胶带黏晶方式的集成电路封装方法无效

专利信息
申请号: 200610065147.4 申请日: 2006-03-21
公开(公告)号: CN101043010A 公开(公告)日: 2007-09-26
发明(设计)人: 陈永祥;杨世仰;郭展彰;高碧宏 申请(专利权)人: 华东科技股份有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L21/60
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 代理人: 寿宁;张华辉
地址: 中国*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明是有关于一种无胶带黏晶方式的集成电路封装方法,先将一液态黏晶材料涂敷于一基板上;并进行一脱泡的步骤,将该基板置于一真空状态,以去除该液态黏晶材料内的微细气泡;再进行一第一次烘烤的步骤,以使该液态黏晶材料为半固化状态以形成一密实黏晶膜于该基板上,并利用该密实黏晶膜黏接一晶片至该基板上;再进行一第二次烘烤的步骤,以完全固化该密实黏晶膜。因此,在该基板与该晶片之间不存在有微细气泡,可以增强黏晶强度,并且能够避免晶片分层剥离。
搜索关键词: 胶带 方式 集成电路 封装 方法
【主权项】:
1、一种无胶带黏晶方式的集成电路封装方法,其特征在于其包括以下步骤:提供至少一基板,其是具有一上表面、一下表面及至少一开口槽;涂敷一液态黏晶材料于该基板的该上表面;进行一脱泡的步骤,以去除该液态黏晶材料内的微细气泡;进行第一次烘烤的步骤,使该液态黏晶材料为半固化状态而成为一密实黏晶膜;藉由该密实黏晶膜黏接一晶片的一主动面至该基板的该上表面上,该晶片是具有复数个位于该主动面的焊垫,该些焊垫是显露于该开口槽;以及进行第二次烘烤的步骤,以固化该密实黏晶膜。
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