[发明专利]无胶带黏晶方式的集成电路封装方法无效
申请号: | 200610065147.4 | 申请日: | 2006-03-21 |
公开(公告)号: | CN101043010A | 公开(公告)日: | 2007-09-26 |
发明(设计)人: | 陈永祥;杨世仰;郭展彰;高碧宏 | 申请(专利权)人: | 华东科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/60 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明是有关于一种无胶带黏晶方式的集成电路封装方法,先将一液态黏晶材料涂敷于一基板上;并进行一脱泡的步骤,将该基板置于一真空状态,以去除该液态黏晶材料内的微细气泡;再进行一第一次烘烤的步骤,以使该液态黏晶材料为半固化状态以形成一密实黏晶膜于该基板上,并利用该密实黏晶膜黏接一晶片至该基板上;再进行一第二次烘烤的步骤,以完全固化该密实黏晶膜。因此,在该基板与该晶片之间不存在有微细气泡,可以增强黏晶强度,并且能够避免晶片分层剥离。 | ||
搜索关键词: | 胶带 方式 集成电路 封装 方法 | ||
【主权项】:
1、一种无胶带黏晶方式的集成电路封装方法,其特征在于其包括以下步骤:提供至少一基板,其是具有一上表面、一下表面及至少一开口槽;涂敷一液态黏晶材料于该基板的该上表面;进行一脱泡的步骤,以去除该液态黏晶材料内的微细气泡;进行第一次烘烤的步骤,使该液态黏晶材料为半固化状态而成为一密实黏晶膜;藉由该密实黏晶膜黏接一晶片的一主动面至该基板的该上表面上,该晶片是具有复数个位于该主动面的焊垫,该些焊垫是显露于该开口槽;以及进行第二次烘烤的步骤,以固化该密实黏晶膜。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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