[发明专利]具有表面纹路的抛光垫和其制造方法与制造装置无效
| 申请号： | 200610057685.9 | 申请日： | 2006-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN101024260A | 公开（公告）日： | 2007-08-29 |
| 发明（设计）人： | 冯崇智;赵征祥;姚伊蓬;洪永璋 | 申请（专利权）人： | 三芳化学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B29C59/16;B23K26/08;B23K26/18;B23K26/36;B23K26/04;B23K26/42;B24D17/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王允方;刘国伟 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有表面纹路的抛光垫和其制造方法，所述制造方法包括以下步骤：(a)提供一基材，所述基材具有一用于抛光一待抛光物件的表面；(b)提供一可自由移动的高能量激光；和(c)利用所述高能量激光于所述基材的所述表面上形成一表面纹路。借此，所制成的抛光垫不会产生毛边或变形的情况，在使用时可以让研磨浆液保持良好的流动，而不会刮伤待抛光物件。此外，以高能量激光的方式可以快速而正确地制造出所需的表面纹路，而且再现性极高。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 表面 纹路 抛光 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种具有表面纹路的抛光垫的制造方法，包括：(a)提供一基材，所述基材具有一表面，所述表面是用以抛光一待抛光物件；(b)提供一可自由移动的高能量激光；和(c)利用所述可自由移动的高能量激光于所述基材的所述表面上形成一表面纹路。
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