[发明专利]电磁悬浮与驱动的空间微运动方法与机械装置无效
| 申请号： | 200610053820.2 | 申请日： | 2006-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN1937391A | 公开（公告）日： | 2007-03-28 |
| 发明（设计）人： | 陈本永;杨涛;潘科荣;孙政荣;王俊茹 | 申请（专利权）人： | 浙江理工大学 |
| 主分类号： | H02N15/00 | 分类号： | H02N15/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 林怀禹 |
| 地址： | 310018浙江省杭州市江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电磁悬浮与驱动的空间微运动方法与机械装置。将微操作器固定在运动体上，在运动体的四个侧面和底面分别嵌入一组永磁阵列，与每组永磁阵列对应布置一组导线阵列，当运动体底面下的导线阵列通入电流时，导线阵列产生的电磁场与永磁阵列产生的电磁场相互作用，使运动体处于悬浮状态；改变通过每组导线阵列电流的大小和方向，能实现运动体上的微操作器所需6自由度的空间微运动、运动范围大、运动精度高、响应快的纳米级大范围运动。该装置主要适用于微机电系统、生物工程、集成电路芯片制造技术、分子原子操纵等纳米级大范围运动操作领域。 | ||
| 搜索关键词： | 电磁 悬浮 驱动 空间 运动 方法 机械 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电磁悬浮与驱动的空间微运动方法，其特征在于：将微操作器固定在运动体上，在运动体的四个侧面和底面分别嵌入一组永磁阵列，与每组永磁阵列对应布置一组导线阵列，当运动体底面下的导线阵列通入电流时，导线阵列产生的电磁场与永磁阵列产生的电磁场相互作用，使运动体处于悬浮状态；改变通过每组导线阵列电流的大小和方向，能实现运动体上的微操作器所需6自由度的空间微运动。
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