[发明专利]采用无色散相移器的全场光学相干层析成像系统

摘要

本发明公开了一种采用无色散相移器的全场光学相干层析成像系统。光源发出的光依次经准直透镜、宽带分光棱镜、偏振片、无色散相移器和宽带偏振分光棱镜后被分成两路：一路经显微物镜到参考镜，显微物镜和参考镜装在精密电控平移台上；另一路经另一显微物镜到样品，另一显微物镜装在压电陶瓷驱动器上。在宽带分光棱镜反射从参考镜和样品返回光的一侧，经成像透镜接面阵CCD探测器。无色散相移器设置在宽带分光棱镜与宽带偏振分光棱镜之间，获得8倍于λ/2波片或偏振片旋转角的相移量。光束的起偏与检偏，参考臂和样品臂的光强匹配，由一块偏振片来完成。本发明具有器件少，结构简单，测量时间短的优点。

主权项

1、采用无色散相移器的全场光学相干层析成像系统，其特征在于：包括光源(15)、准直透镜(16)、宽带分光棱镜(17)、偏振片(18)、无色散相移器(19)、宽带偏振分光棱镜(20)、一对相同的显微物镜(21、22)、精密电控平移台(23)、压电陶瓷驱动器(24)、参考镜(25)、成像透镜(27)和面阵CCD探测器(28)；光源(15)发出的光依次经准直透镜(16)、宽带分光棱镜(17)、偏振片(18)、无色散相移器(19)和宽带偏振分光棱镜(20)后被分成两路：一路经显微物镜(21)到参考镜(25)，显微物镜(21)和参考镜(25)装在精密电控平移台(23)上；另一路经另一显微物镜(22)到样品(26)，另一显微物镜(22)装在压电陶瓷驱动器(24)上。在宽带分光棱镜(17)反射从参考镜(25)和样品(26)返回光的一侧，经成像透镜(27)接面阵CCD探测器(28)。