[发明专利]基于微机械技术的电容非热式流速传感器

摘要

基于微机械技术的电容非热式流速传感器是一种利用MEMS技术加工的叶轮进行检测流速的传感器，该传感器由玻璃底盘(1)，硅顶盖(2)，转轴(3)，转盘(4)，叶轮(5)、电容极板(6)所组成；在玻璃底盘(1)上固定有转轴(3)，在转轴(3)的上部设有硅顶盖(2)，在转轴(3)的外侧套有转盘(4)，在转盘(4)的外侧固定有叶轮(5)，在玻璃底盘(1)的上表面设有电容极板(6)。叶轮(5)和转轴(3)材料是N型半导体硅。即作为可动旋转部件，也作为测量电容的一个电极。该流速传感器采用电容检测方式，具有功耗小、线性范围大、响应快、温漂小和可靠性好等优点。

主权项

1.一种基于微机械技术的电容非热式流速传感器，其特征在于该传感器由玻璃底盘(1)，硅顶盖(2)，转轴(3)，转盘(4)，叶轮(5)、电容极板(6)所组成；在玻璃底盘(1)上固定有转轴(3)，在转轴(3)的上部设有硅顶盖(2)，在转轴(3)的外侧套有转盘(4)，在转盘(4)的外侧固定有叶轮(5)，在玻璃底盘(1)的上表面设有电容极板(6)。