[发明专利]双振动模态驱动的压电陶瓷超声波电机小波差动控制方法

摘要

双振动模态驱动的压电陶瓷超声波电机小波差动控制方法，其特征是提供39.6KHz频率的由N个周期组成的小波电压，至少有一个周期的波形峰值大于死区电压值，以小波电压为一个驱动元，改变小波电压输出速率以控制滑块的运动速度；将小波电压分两路以差动方式同时加到压电陶瓷超声波电机两组电极上，控制两组电极上的电压差值以控制一阶弯曲振动模态的幅度，从而改变驱动头的椭圆形运动轨迹。本发明方法应用于工作台的纳米级定位驱动控制，可任意降低滑块的运动速度，并能提高滑块的单步定位精度。

主权项

1、双振动模态驱动的压电陶瓷超声波电机小波差动控制方法，其特征是：驱动电压采用频率为39.6KHz的由N个周期组成的小波电压，以所述具有N个周期的小波电压为一个驱动元，作为一个驱动元的小波电压中至少有一个周期的波形的峰值大于死区电压值，所述N值不小于3；两个驱动元之间的时间间隔t可调，改变所述时间间隔t即改变小波电压输出速率，从而控制滑块的运动速度；采用差动控制，将所述用于控制的小波电压分两路，以差动方式同时加到压电陶瓷超声波电机的两组电极上，通过控制两组电极上的小波电压差值，即控制一阶弯曲振动模态的幅度，以改变驱动头的椭圆形运动轨迹。