[发明专利]一种多功能溅镀系统及溅镀方法无效
| 申请号： | 200610032948.0 | 申请日： | 2006-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN100999814A | 公开（公告）日： | 2007-07-18 |
| 发明（设计）人： | 简士哲 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种多功能溅镀系统，其包括一个腔体，该腔体内包括有一个转盘，该转盘上设有多个承载台，与该承载台相对侧有至少两个溅射靶，及每个溅射靶相连有一个转动装置。本发明还提供一种溅镀方法，其包括如下步骤：将工件置于承载台上，并放入靶材；调节多个溅射靶的朝向；使腔体形成真空；向腔体内通入惰性气体或惰性气体混合物；及溅镀工件，得到产品。本发明的多功能溅镀系统及溅镀方法具有易于溅镀多层复合膜及合金膜的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多功能溅镀系统，其包括一个腔体，该腔体内包括有：一个转盘，该转盘上设有多个承载台，与该承载台相对侧有至少两个溅射靶；其特征是，该每个溅射靶还相连有一个转动装置，其用于转动与之相连的溅射靶。
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