[发明专利]用光纤和铟锡氧化物制作光子扫描隧道显微镜探针的方法

摘要

本发明公开了一种用光导纤微和铟锡氧化物制作光子扫描隧道显微镜探针的方法，旨在提供一种能够制作同时具有优良的导电和透光性的光子扫描隧道显微镜探针的方法。所述方法包括光纤的选择、缓冲溶液的配制、光纤化学刻蚀、金属导电膜的蒸发沉积、光纤尖端金属膜腐蚀去除、ITO薄膜磁控溅射沉积、针尖与基座连接的步骤。利用所述方法制造的光子扫描隧道显微镜探针能够适用于扫描隧道显微镜、光子扫描隧道显微镜和扫描近场光学显微镜等大型现代科学仪器上。

主权项

1、一种用光导纤维和铟锡氧化物制作光子扫描隧道显微镜探针的方法，其特征在于包括如下步骤：(1)光纤的预处理：除去光纤包裹层，将其切成小段，清洗干净；(2)缓冲溶液的配制：以NH4F、HF和H2O为刻蚀剂，配制成缓冲溶液；(3)光纤化学刻蚀：将步骤(1)得到的光纤一端浸在步骤(2)配制好的缓冲溶液中，刻蚀形成针尖后取出，用去离子水清洗干净；(4)金属导电膜的蒸发沉积：将步骤(3)得到的光纤置于真空镀膜机的真空腔内，在光纤外围镀上一层厚度为10-15nm的导电金属膜；(5)光纤尖端金属膜腐蚀去除：将步骤(4)得到的光纤针尖尖端置于稀酸溶液中腐蚀，完全除去针尖尖端的镀膜，裸露出针尖尖端；(6)ITO薄膜磁控溅射沉积：用磁控溅射方法在步骤(5)处理得到针尖尖端沉积40-60nm厚的铟锡氧化物ITO薄膜；(7)针尖与基座连接：在金属基座上穿一直径为100-125微米的微孔，将针尖穿入微孔与金属基座连接。