[发明专利]β－Ga2O3纳米线及其气体传感器的制备和实现快速响应的气体传感方法无效
| 申请号： | 200610032169.0 | 申请日： | 2006-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN101135659A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 王太宏;丰平;张杰;万青;许春梅;薛欣宇;刘永刚;虞红春 | 申请（专利权）人： | 湖南大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 4100*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种β－Ga2O3纳米线及其气体传感器的制备和实现快速响应的气体传感方法。纳米线制备是：在硅衬底上沉积金膜；将镓颗粒放入舟中，衬底放在距舟适当处，加热、保温；加热炉内通氮气；炉冷却到室温后，产物在衬底上生成；传感器制备是：一定厚度金电极沉积到有SiO2层的硅衬底上，两电极距离约1μm；将单根纳米线放到电极上；引线连接，再经老化处理。传感器的快速氧气响应：开始时，纳米线中自由载流子浓度很低，通过氧调节其电导非常弱，在紫外光光照下，通过纳米线的电流增加到一定值，短时间反映了氧气浓度；光照关闭后，光生载流子迅速再结合，光驱动氧气传感特性消失。传感器响应时间快、灵敏度高，适合于规模化的工业生产。 | ||
| 搜索关键词： | ga sub 纳米 及其 气体 传感器 制备 实现 快速 响应 传感 方法 | ||
【主权项】：
1.一种β-Ga2O3纳米线的制备方法，其特征是，该方法为：(1)将1纳米-1微米厚的金膜沉积在基片衬底上；(2)将镓金属颗粒放入矾土舟中，衬底放在距离舟0.8厘米-1.2厘米处，使之按下述条件一同加热、保温；(3)将矾土舟放入石英管中，再将石英管放入管式炉中，然后将管式炉加热到970℃-990℃，保持0.9-1.1小时；(4)加热炉内通入380sccm-420sccm(毫升/分钟)的氮气；(5)在管式炉冷却到室温后，产物-β-Ga2O3纳米线在基片衬底上生成；
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