[发明专利]一种调节气膜双向刚度的气浮支座有效
| 申请号： | 200610027352.1 | 申请日： | 2006-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN1858653A | 公开（公告）日： | 2006-11-08 |
| 发明（设计）人： | 李正贤;齐芊枫 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 | 代理人： | 黄志达;谢文凯 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明是一种调节气膜双向刚度的气浮支座，包括若干个压缩气体腔和若干个真空气体腔、压缩气体腔包括与气浮支座底面相通的出气孔和若干个排气孔，出气孔分别与进气通道相连；真空气体腔包括与气浮支座底面相通的抽气孔。抽气孔分别与抽气通道相连；气浮支座底面具有排气孔，排气孔与气浮支座上的排气通道相连通。本发明同时用到压缩气体和真空抽气控制气浮的技术。使气浮支座具备同时调节供气压力和真空吸力，实现双向调节气膜刚度，提供一个稳定的气浮支座。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调节 双向 刚度 支座 | ||
【主权项】：
1、一种调节气膜双向刚度的气浮支座，其特征在于：气浮支座包括若干个压缩气体腔和若干个真空气体腔，压缩气体腔中有与气浮支座底面相通的若干个出气孔，真空气体腔中有与气浮支座底面相通的若干个抽气孔，出气孔与气浮支座上的进气通道连通，抽气孔与气浮支座上的抽气通道连通；气浮支座底面具有若干个排气孔，排气孔与气浮支座上的排气通道相连通。
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